Мікроелектроніка і наноелектроніка. Вступ до спеціальності
Процес виготовлення таких інтегральних схем допускав автоматизацію їх виготовлення і значне зменшення габаритних розмірів. … Таким чином, нанотехнологія – це сукупність методів виготовлення й оброблення структур, що мають довжину 1–100 нм (хоча б за одним з вимірів). … Для виготовлення легованих надґраток часто використовують GaAs.