Мікроелектроніка і наноелектроніка. Вступ до спеціальності Posted on by / 0 Comment До такої апаратури належать, насамперед, сканувальний тунельний мікроскоп і сканувальний атомно111 силовий мікроскоп. … Сканувальний тунельний мікроскоп (1981) дає зображення металевих і напівпровідникових поверхонь з атомним масштабом. … Сканувальний атомно-силовий мікроскоп (1986) –
